Pompa vakum adalah suatu alat atau perlengkapan yang menggunakan metode mekanis, fisik, kimia, atau fisikokimia untuk mengevakuasi suatu wadah dan menciptakan ruang hampa. Secara sederhana, pompa vakum adalah perangkat yang menggunakan berbagai metode untuk meningkatkan, menghasilkan, dan mempertahankan ruang hampa di ruang tertutup.
(1) Ia memiliki kecepatan pemompaan yang relatif tinggi pada rentang tekanan yang luas;
(2) Rotor memiliki simetri geometris yang baik, menghasilkan getaran yang rendah dan pengoperasian yang lancar. Terdapat celah antara rotor dan antara rotor dan casing, sehingga menghilangkan kebutuhan akan pelumasan, meminimalkan kehilangan gesekan, dan secara signifikan mengurangi daya penggerak, sehingga memungkinkan kecepatan yang lebih tinggi;
(3) Tidak diperlukan penyegelan atau pelumasan oli di dalam ruang pompa, sehingga mengurangi kontaminasi uap oli pada sistem vakum;
(4) Tidak ada katup kompresi atau katup buang di dalam ruang pompa. Strukturnya sederhana dan kompak, serta tidak sensitif terhadap debu dan uap air dalam gas yang dipompa;
(5) Rasio kompresi relatif rendah, sehingga efek pemompaan hidrogen buruk;
(6) Permukaan rotor adalah permukaan silinder melengkung yang relatif kompleks, sehingga menyulitkan pemesinan dan inspeksi.
